Современные электронные сенсорные устройства
В статье приведен обзор сенсоров, изготовленных на основе металлооксидных полупроводников. Рассмотрены технологии и различные варианты выполнения химических сенсоров для использования в устройствах типа «электронный нос» с целью распознавания широкого класса химических веществ. Показаны перспективность применения нейронных сетей для распознавания запаховых образов.
Возрастание интереса к химическим датчикам в последнее десятилетие во многом обусловлено стремлением создать эффективную экспертную систему типа «электронный нос», которая сможет различать достаточно широкий спектр запахов и газов в реальных условиях эксплуатации: в медицине (например, качество лекарств, анализ ряда заболеваний), в пищевой (качество продуктов), горнодобывающей промышленности (выбросы метана в шахтах), в системах безопасности (для предупреждения террористических угроз), в космосе и других областях.
Кузнецов Юрий Михайлович
Кулагин Владимир Петрович