• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта
Статья
Development of focusing grating couplers for lithium niobate on insulator platform

Elmanov I., Sardi F., Xia K. et al.

Journal of Physics: Conference Series. 2020. Vol. 1695.

Статья
Electron energy relaxation in disordered superconducting NbN films
В печати

Sidorova M., Semenov A., Hübers H. et al.

Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics. 2020. Vol. 102. No. 5. P. 1-15.

Статья
On chip carbon nanotube tunneling spectroscopy

Matyushkin Y., Kaurova N., Voronov B. et al.

Fullerenes Nanotubes and Carbon Nanostructures. 2020. Vol. 28. No. 1. P. 50-53.

Статья
Silicon nitride Mach-Zehnder interferometer for on-chip quantum random number generation

Prokhodtsov A., Kovalyuk V., An P. et al.

Journal of Physics: Conference Series. 2020. Vol. 1695. P. 012118.

Образовательная деятельность

Базовая кафедра ООО "Сконтел" участвует в проведении научно-исследовательского семинара, чтении лекций, проведении семинарских и практических занятий, лабораторных работ по дисциплинам магистерской программы «Наноэлектроника и квантовые технологии» и общему курсу физики для всех направлений подготовки бакалавров МИЭМ.
В инфраструктуре базовой кафедры ООО "Сконтел" имеется технологическая лаборатория тонкопленочных наноструктур с обеспыленным помещением и установками напыления, литографий, сухого травления и т.д., устойчиво воспроизводящая структуры с точностью в несколько нанометров, криогенная станция с ожижением гелия и замкнутым циклом его воспроизводства, электронная и механическая мастерские.

Технологические установки составляют замкнутую технологическую цепочку создания сверхпроводниковых наноструктур. Базовая кафедра ООО "Сконтел" имеет единственную в московском регионе технологическую лабораторию, которая позволяет изготавливать тонкопленочные наноструктуры с неровностью края не более нескольких нанометров.

В учебном процессе значимое место занимает следующее оборудование:
-    растровый электронный микроскоп JEOL JSM6380, переделанный в электронный литограф,
-    установка плазмо-химического травления Corial 200R,
-    установка электронно-лучевого испарения Evatec BAK 501,
-    установка распыления Z-400 фирмы Leybold Heraus,
-    установка совмещения и экспонирования MA-56 фирмы Karl Suss,
-    установка очистки и деионизации воды Milli RO-Milli Q. Производство фирмы Millipore,
-    лабораторная установка разделения подложек на отдельные микрокристаллы методом скрайбирования HR 100 фирмы Karl Suss,
-    профилометр-профилограф Talystep фирмы Taylor-Hobson (Великобритания) c точностью измерения до 10 ангстрем.