• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта
Статья
Comparison of hot spot formation in NbC and NbN single photon detectors

Korneeva Y., Sidorova M., Semenov A. et al.

IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 2016. Vol. 26. No. 3. P. 1-4.

Статья
Characterization of MoSi Superconducting Single-Photon Detectors in the Magnetic Field

Korneev A., Korneeva Y., Mikhailov M. et al.

IEEE Transactions on Applied Superconductivity. 2015. Vol. 25. No. 3. P. 1-4.

Образовательная деятельность

Базовая кафедра ЗАО "Сконтел" участвует в проведении научно-исследовательского семинара, чтении лекций, проведении семинарских и практических занятий, лабораторных работ по дисциплинам магистерской программы "Прикладная физика" и общему курсу физики для всех направлений подготовки бакалавров МИЭМ.
В инфраструктуре базовой кафедры ЗАО "Сконтел" имеется технологическая лаборатория тонкопленочных наноструктур с обеспыленным помещением и установками напыления, литографий, сухого травления и т.д., устойчиво воспроизводящая структуры с точностью в несколько нанометров, криогенная станция с ожижением гелия и замкнутым циклом его воспроизводства, электронная и механическая мастерские.

Технологические установки составляют замкнутую технологическую цепочку создания сверхпроводниковых наноструктур. Базовая кафедра ЗАО "Сконтел" имеет единственную в московском регионе технологическую лабораторию, которая позволяет изготавливать тонкопленочные наноструктуры с неровностью края не более нескольких нанометров.

В учебном процессе значимое место занимает следующее оборудование:
-    растровый электронный микроскоп JEOL JSM6380, переделанный в электронный литограф,
-    установка плазмо-химического травления Corial 200R,
-    установка электронно-лучевого испарения Evatec BAK 501,
-    установка распыления Z-400 фирмы Leybold Heraus,
-    установка совмещения и экспонирования MA-56 фирмы Karl Suss,
-    установка очистки и деионизации воды Milli RO-Milli Q. Производство фирмы Millipore,
-    лабораторная установка разделения подложек на отдельные микрокристаллы методом скрайбирования HR 100 фирмы Karl Suss,
-    профилометр-профилограф Talystep фирмы Taylor-Hobson (Великобритания) c точностью измерения до 10 ангстрем.