• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта
Статья
Superconducting detector for visible and near-infrared quantum emitters [Invited]

Vorobyov V., Kazakov A., Soshenko V. et al.

Optical Materials Express. 2017. Vol. 7. No. 2. P. 513-526.

Статья
On-chip coherent detection with quantum limited sensitivity

Kovalyuk V., Ferrari S., Kahl O. et al.

Scientific Reports. 2017. Vol. 7. No. 1. P. 1-9.

Образовательная деятельность

Базовая кафедра ЗАО "Сконтел" участвует в проведении научно-исследовательского семинара, чтении лекций, проведении семинарских и практических занятий, лабораторных работ по дисциплинам магистерской программы "Прикладная физика" и общему курсу физики для всех направлений подготовки бакалавров МИЭМ.
В инфраструктуре базовой кафедры ЗАО "Сконтел" имеется технологическая лаборатория тонкопленочных наноструктур с обеспыленным помещением и установками напыления, литографий, сухого травления и т.д., устойчиво воспроизводящая структуры с точностью в несколько нанометров, криогенная станция с ожижением гелия и замкнутым циклом его воспроизводства, электронная и механическая мастерские.

Технологические установки составляют замкнутую технологическую цепочку создания сверхпроводниковых наноструктур. Базовая кафедра ЗАО "Сконтел" имеет единственную в московском регионе технологическую лабораторию, которая позволяет изготавливать тонкопленочные наноструктуры с неровностью края не более нескольких нанометров.

В учебном процессе значимое место занимает следующее оборудование:
-    растровый электронный микроскоп JEOL JSM6380, переделанный в электронный литограф,
-    установка плазмо-химического травления Corial 200R,
-    установка электронно-лучевого испарения Evatec BAK 501,
-    установка распыления Z-400 фирмы Leybold Heraus,
-    установка совмещения и экспонирования MA-56 фирмы Karl Suss,
-    установка очистки и деионизации воды Milli RO-Milli Q. Производство фирмы Millipore,
-    лабораторная установка разделения подложек на отдельные микрокристаллы методом скрайбирования HR 100 фирмы Karl Suss,
-    профилометр-профилограф Talystep фирмы Taylor-Hobson (Великобритания) c точностью измерения до 10 ангстрем.