21 февраля состоялся третий семинар НУГ

Приглашенный докладчик Павлова Татьяна Витальевна, кандидат физико-математических наук, доцент факультета физики ВШЭ, Базовая кафедра квантовых технологий Института общей физики им. А.М. Прохорова РАН представила доклад "Атомно-точное внедрение фосфора в кремний"

Аннотация доклада:

Одной из актуальных задач функционализации кремния является атомарно точное позиционирование примесей. Решение данной задачи необходимо, в частности, для реализации квантовых вычислений, использующих ядерный спин примеси в кремнии. В настоящее время наиболее точное внедрение примесей в несколько постоянных решетки кремния достигается с помощью STM-литографии по резисту из монослоя адатомов на поверхности Si(100) с последующей адсорбцией молекулы, содержащей легирующую примесь. В докладе будет представлено исследование внедрения фосфора в кремний с использованием молекулы PBr3 и резиста из монослоя хлора на поверхности Si(100). Исследование выполнено с совместным применением методов сканирующей туннельной микроскопии (STM) и расчетов на основе DFT. Основное внимание в докладе будет уделено применению DFT для решения данной задачи.

 

Презентация доклада: 

Pavlova_MIEM (PDF, 2.56 Мб)